기가포톤, 핵융합 에너지 위한 초전도선 양산 기술 개발에 엑시머 레이저 평가 착수

노형석 기자

작성일 2026-09-27 08:21

첨단 반도체 제조 공정용 광원 제조업체인 기가포톤(Gigaphoton Inc.)이 일본의 한 고온 초전도선 제조업체에 펄스 레이저 증착(PLD)용 L300KZ KrF 엑시머 레이저를 설치하고 평가에 들어갔다고 25일 발표했다.

이번 평가는 일본 내각부가 주관하는 문샷 연구개발 프로그램(Moonshot Research and Development Program)의 10호 목표, 즉 ‘다양한 혁신적 핵융합로 콘셉트 실현을 위한 기초 초전도 기술’ 프로젝트의 일환으로 진행된다. 이 프로젝트는 핵융합로에 사용되는 초전도 자석의 핵심 재료인 고성능 희토류 바륨 구리 산화물(REBCO) 와이어의 고품질 저비용 대량 생산 기술 확립을 목표로 한다.

기가포톤은 이 프로젝트에서 PLD 공정에 사용되는 엑시머 레이저 개발을 담당하며, 이번에 설치된 L300KZ 레이저는 고온 초전도 소재의 PLD 박막 증착을 위한 고펄스 에너지 레이저다. 이는 기가포톤이 반도체 리소그래피용 엑시머 레이저 개발을 통해 축적한 기술력을 바탕으로 개발된 것으로 알려졌다.

기가포톤의 사장 겸 최고경영자 에나미 타츠오는 “실제 박막 증착 공정 환경에 PLD용 엑시머 레이저를 설치하고 평가 단계에 착수한 것은 중요한 진전”이라며, “고온 초전도선 외에도 기능성 박막, 첨단 전자 소재, 광학 소재 등 PLD 기술이 활용되는 광범위한 첨단 소재 분야에서의 응용을 기대한다”고 밝혔다.

기가포톤은 2000년에 설립된 기업으로, 반도체 리소그래피용 엑시머 레이저 광원 분야를 선도하고 있으며, EUV 광원, 첨단 패키징용 엑시머 레이저, 첨단 소재 가공 응용 분야 등으로 사업 영역을 확장하고 있다.